LIQUOZON®臭氧水循環(huán)系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于CVD，去膠和濕法清洗等工藝。

?LIQUOZON® Smart 臭氧水遞送系統(tǒng)。提供高濃度(114ppm@5LPM)、大流量(80LPM@22ppm)臭氧水

?LIQUOZON® Single 臭氧水遞送系統(tǒng)。緊湊型設(shè)計(jì)，適合于單片硅片清洗系統(tǒng)。提供高濃度(95ppm@2LPM)、大流量(20LPM@30ppm)臭氧水

?LIQUOZON® PrimO3 臭氧水循環(huán)遞送系統(tǒng)。高濃度(115ppm@2LPM)、大流量(60LPM@30ppm)，可帶循環(huán)水泵，主要用于硅片清洗工藝

?LIQUOZON® HeliO3 臭氧水循環(huán)遞送系統(tǒng)。高濃度(45ppm@10LPM)、大流量(60LPM@14ppm)，帶循環(huán)水泵，主要用太陽能電池片清洗和氧化物生長。

?LIQUOZON® Stream 臭氧水循環(huán)遞送系統(tǒng)。高濃度(115ppm@5LPM)、大流量(140LPM@25ppm)，主要用于平板顯示器清洗工藝