主要性能體現(xiàn)在于其減震的頻率范圍，以及有效減震百分比。TMC從0.6Hz開始具備減震效果，并且具有對2Hz以上的有效頻率范圍的震動減震效可達90%的性能。主要采用壓電主動震動消除。TMC的出現(xiàn)，使得許多高精度和穩(wěn)定性要求的實驗和儀器運用成為可能。TMC減震臺的“剛性"式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以高標準運行。 

主要特點：

? 始于0.6Hz的隔振 

? 2Hz開始的主動減振效果可達90%的的隔振效果 

? 高靈敏度，低頻慣性速度傳感器 

? 沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性 

? 串行和高力壓電技術(shù) 

主要應(yīng)用： 

? 聚焦離子束隔振 

? 掃描電子顯微鏡隔振 

? 精密儀器和機械設(shè)備隔振 

? 半導體工業(yè)隔振 

? 小型雙光束儀器隔振 

? 高大工具的建筑地面振動隔離 

? 半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設(shè)備的震動隔離