橢圓偏振光譜儀UVISEL PLUS是一種無損無接觸的光學(xué)測(cè)量，基于測(cè)量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測(cè)厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測(cè)試材料的反射率及透過率。 

技術(shù)參數(shù)： 

? 光譜范圍: 190-885nm（可擴(kuò)展至2100nm） 

? 微光斑可選50μm-100μm-1mm 

? 探測(cè)器：分別針對(duì)紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測(cè)器 

? 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：多種樣品臺(tái)可選 

? 自動(dòng)量角器：變角范圍40° - 90°，全自動(dòng)調(diào)整，小步長0.01° 

主要特點(diǎn)： 

? 50KHz高頻PEM相調(diào)制，測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件 

? 具備薄膜所需的測(cè)量精度，厚膜所需的高光譜分辨率 

? 具有毫秒級(jí)快動(dòng)態(tài)采集模式，可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 

? 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件 

? 配置靈活