SEM4000Pro是一款分析型熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡，配備了高亮度、長壽命的肖特基場發(fā)射電子槍。三級磁透鏡設(shè)計，束流可達(dá)200 nA，在EDS、EBSD、WDS等應(yīng)用上具有明顯優(yōu)勢。標(biāo)配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器，可觀察導(dǎo)電性弱或不導(dǎo)電樣品。標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式，以及直觀的操作界面，讓您的分析工作倍感輕松。...

SEM4000Pro是一款分析型熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡，配備了高亮度、長壽命的肖特基場發(fā)射電子槍。三級磁透鏡設(shè)計，束流可達(dá)200 nA，在EDS、EBSD、WDS等應(yīng)用上具有明顯優(yōu)勢。標(biāo)配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器，可觀察導(dǎo)電性弱或不導(dǎo)電樣品。標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式，以及直觀的操作界面，讓您的分析工作倍感輕松。
 

- 超高分辨率（0.9 nm@30 kV）

- 低真空模式（180 Pa）

- 三級磁透鏡設(shè)計

- 200 nA大束流（選配）

- 機(jī)械優(yōu)中心樣品臺

- 快速換樣倉（8寸）

 

產(chǎn)品優(yōu)勢

01 配備高亮度、長壽命的肖特基熱場發(fā)射電子槍

02 分辨率高，30 kV 下優(yōu)于 0.9 nm 的極限分辨率

03 三級磁透鏡設(shè)計，束流可調(diào)范圍大，支持 200 nA 的分析束流

04 無漏磁物鏡設(shè)計，可直接觀察磁性樣品

05 標(biāo)配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器

06 標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式，中文操作軟件，讓分析工作更輕松

 

應(yīng)用案例

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	高真空分辨率	0.9 nm @ 30 kV，SE
	低真空分辨率	2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa
		1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa
	加速電壓	200 V ~ 30 kV
	放大倍率	1 ~ 1,000,000 x
	電子槍類型	肖特基熱場發(fā)射電子槍
樣品室	真空系統(tǒng)	全自動控制
	低真空模式	180 Pa
	攝像頭	雙攝像頭
		（光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控）
	行程	X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
		T: -10°~+70°，R: 360°
探測器和擴(kuò)展	標(biāo)配	旁側(cè)二次電子探測器（ETD）
		低真空二次電子探測器（LVD）
		插入式背散射電子探測器（BSED）
	選配	能譜儀（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		插入式掃描透射探測器（STEM）
		樣品交換倉
		軌跡球&旋鈕控制板
軟件	語言	中文
	操作系統(tǒng)	Windows
	導(dǎo)航	光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
	自動功能	自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散