1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，額定溫度可以達(dá)到1700C，真空度可達(dá)到5x10-2torr，可以混合1-3種氣體

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，額定溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)應(yīng)用范圍：

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)主要用于真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)性燒結(jié)、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實(shí)驗(yàn)。

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

CVD 管式爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，爐膛采用氧化鋁纖維材料，能使樣品加熱到1700℃ 。左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)，右法蘭上安裝有一KF-25 接口，可以與機(jī)械泵相連接（抽速為226L/m）。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與混氣系統(tǒng)相連接。*的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫*度為+/- 1  ℃   。

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

電爐名稱	1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)
管式爐結(jié)構(gòu)	采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C. 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 內(nèi)爐膛表面涂有優(yōu)質(zhì)高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
加熱元件	1800 grade MoSi2 ( 8根)
額定工作溫度	1700℃
額定升溫速率	5℃/min
額定降溫速率	5℃/min
加熱區(qū)長(zhǎng)度	455mm (18")
恒溫區(qū)長(zhǎng)度	150(+/-1℃)  注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。
溫控系統(tǒng)	一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR 可設(shè)置30段升降溫程序 控溫儀表操作視頻 帶有過熱和斷偶保護(hù)
控溫精度	+/-1℃
爐管材質(zhì)和尺寸	99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管 （標(biāo)配）OD: 60 mm：ID: 52mm x1000 mm length （選配）OD: 80 mm：ID: 72mm x1000 mm length
密封法蘭	兩個(gè)不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表（圖片中的藍(lán)表為選配）和閥門 通過機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr 泄漏率額定6 mtorr/min
輸入電源	AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：額定5KW
真空泵和配件	真空泵	一個(gè)雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動(dòng)架內(nèi) 通過此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr
	配件	標(biāo)配的真空配件: 一對(duì)不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個(gè)不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭 一個(gè)1000mm長(zhǎng)的KF-25 不銹鋼波紋管和四個(gè)KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍 可選：本公司的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
氣體流量計(jì)	3個(gè)浮子流量計(jì)（*度4%FS）安裝在一個(gè)移動(dòng)架上，可以推動(dòng)，可同時(shí)混入三種不同氣體 *路氣體流量范圍為10-100 cc/min 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上，壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ，來監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力 四個(gè)不銹鋼針閥安裝在前面板上