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參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡介

1200℃管式爐CVD系統(tǒng)廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝，如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理.SGM1200℃管式爐CVD系統(tǒng)專門設(shè)計(jì)用于高溫材料沉積之用

詳細(xì)介紹

1200℃管式爐CVD系統(tǒng)廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝，如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理.

SGM 1200℃管式爐CVD系統(tǒng)專門設(shè)計(jì)用于高溫材料沉積之用。1200℃管式爐CVD系統(tǒng)具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動(dòng)小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點(diǎn)。

兩路氣體CVD系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、1200℃管式采用優(yōu)質(zhì)電爐絲加熱。
2、爐管為剛玉爐管爐膛,
3、可預(yù)抽真空,便于通入?yún)⒓臃磻?yīng)的氣體,單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計(jì)隔板結(jié)構(gòu)。
4、管式爐有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。

兩路氣體CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

1	產(chǎn)品名稱	1200℃單溫區(qū)經(jīng)濟(jì)型兩路氣體CVD系統(tǒng)
2	常規(guī)型號(hào)	SGM-O1200-50IC150-D2FH
3		SGM-O1200-60IC150-D2FH
4		SGM-O1200-80IC150-D2FH
5		SGM-O1200-100IC150-D2FH
6	爐膛模式	開啟式
7	顯示模式	高亮數(shù)碼管顯示(LED)
8	爐膛材料	纖維
9	加熱元件	合金加熱絲
10	極限溫度	1200℃
11	工作溫度	≤1150℃
12	升溫速率	≤20℃(建議:10℃/min)
13	加熱溫區(qū)	單溫區(qū)
14	溫區(qū)長度	440mm
15	恒溫區(qū)長	200mm
16	爐管材質(zhì)	高純石英
17	爐管常規(guī)直徑	50mm
18		60mm
19		80mm
20		100mm
21	爐管長度	1000mm
22	密封方式	不銹鋼真空法蘭
23	氣密性	真空法蘭和石英爐管的氣密性額定可達(dá)4.03×10-3Pa
24	控制模式	智能PID多段程序控溫
25	控溫精度	±1℃
26	溫度曲線	多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
27	預(yù)存曲線	可預(yù)存1條溫度曲線
28	電流監(jiān)控	指針式電流計(jì)
29	電壓監(jiān)控	指針式電壓計(jì)
30	超溫報(bào)警	有
31	過流保護(hù)	有
32	斷偶提示	有
33	測溫元件	K型熱電偶
34	電氣認(rèn)證	CE認(rèn)證
35	供電電源	220V 50Hz～60Hz
36	整機(jī)功率	2.5KW
37	氣體通道	可連接3種氣源
38	流量計(jì)	浮子流量計(jì)
39	A路量程	10～100ml/min
40	B路量程	16～160ml/min
41	氣路壓力	-0.1～0.15 MPa
42	系統(tǒng)真空	5～10Pa（需要達(dá)到其它真空度時(shí)，需選配不同的抽真空裝置）
43	泵路鏈接	KF16不銹鋼波紋管、KF16卡箍、KF16擋板閥
44	真空計(jì)	標(biāo)準(zhǔn)配置機(jī)械真空計(jì)，也可選配電子真空計(jì)
45	售后服務(wù)	12個(gè)月質(zhì)保，終身保修
46	包裝形式	木箱或簡裝
47	隨機(jī)配件	石英爐管、真空法蘭、爐管堵塞、O型密封圈、坩堝爐鉤、說明書、聚四氟管、不銹鋼卡套接頭、不銹鋼波紋管、KF轉(zhuǎn)接頭、5mm內(nèi)六角扳手。
48	整套尺寸	左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm