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實(shí)驗(yàn)室流化床設(shè)備:實(shí)驗(yàn)室流化床CVD

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更新時(shí)間:2024-03-13 15:59:37瀏覽次數(shù):501

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

實(shí)驗(yàn)室流化床CVD是由洛陽(yáng)西格馬高溫電爐生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)室硫化用立式管式爐

詳細(xì)介紹

實(shí)驗(yàn)室流化床CVD是由洛陽(yáng)西格馬高溫電爐生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)室硫化用立式管式爐。物料在潔凈的熱氣流(負(fù)壓)作用下懸浮形成流化狀態(tài),其表面與熱空氣接觸,受熱均勻,達(dá)到了良好的熱交換狀態(tài),從而有著的效率。制成的顆粒更均勻、細(xì)粉少、流動(dòng)性更好??捎糜谛⌒蛯?shí)驗(yàn),可實(shí)現(xiàn)制粒包衣,燒結(jié)或反應(yīng)更充分,相對(duì)于普通管式爐反應(yīng)更充分,實(shí)現(xiàn)了一機(jī)多用的功能。
流化床立式管式爐是由支撐架、下箱體和加熱爐組成,加熱爐腔內(nèi)垂直設(shè)置有爐管,爐管下端設(shè)置下密封法蘭,下密封法蘭的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口,另一側(cè)設(shè)置一支撐裝置,支撐裝置用于支撐下塞磚,爐管上端設(shè)置有一上密封法蘭,上密封法蘭的一側(cè)設(shè)有出氣口,另一側(cè)設(shè)置一吊塞磚裝置,吊塞磚裝置用于固定上塞磚,在上塞磚和下塞磚之間設(shè)置有一多孔板;在加熱爐下設(shè)可調(diào)節(jié)高度的支架,支架與下密封法蘭的一側(cè)連接。

反應(yīng)氣體和均勻地通過(guò)反應(yīng)區(qū),固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi),爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式,當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后,可將爐體打開(kāi),拿出石英管,取出反應(yīng)后的顆粒。

注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí),也許會(huì)因?yàn)闅怏w流量過(guò)大會(huì)使顆粒穿過(guò)加熱區(qū),所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量等。


立式管式爐

流化床管式爐應(yīng)用

1200度流化床管式爐是一款流化床立式開(kāi)啟式管式爐,是針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)、粉末包覆等,爐管為高純石英管,爐管內(nèi)部焊接有一多孔石英板(稱(chēng)砂芯),石英板的孔徑為10um左右(孔徑可按照粉料實(shí)際目數(shù)選擇).粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過(guò)多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域,進(jìn)行包覆實(shí)驗(yàn)。

流化床管式爐技術(shù)參數(shù)

電爐名稱(chēng) 實(shí)驗(yàn)室流化床CVD管式爐
Fluidized bed tubular furnace

型號(hào)

SGM FDTF1200

電爐結(jié)構(gòu) 立式結(jié)構(gòu)、開(kāi)啟式

功率

1.5 KW

爐管尺寸

Dia 25(OD) X500 mm

中間區(qū)域(Dia50X150)

外形尺寸(mm)

800X600X1500

電源電壓

220V

相數(shù)

單相

加熱元件

國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲
(可選配瑞典 Kanthal A1進(jìn)口電阻絲)

控制方式

采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配)

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過(guò)溫保護(hù)和斷偶保護(hù),過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,(當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí),主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi),主電路斷開(kāi),面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有效的保護(hù)電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配)

4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進(jìn)口儀表,需要另外付費(fèi),選購(gòu))

FP93控溫儀表(日本島電) 歐陸儀表 觸摸屏儀表

爐膛材料

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)

流化床區(qū)域

1、反應(yīng)氣體通過(guò)多孔石英板均勻地通過(guò)反應(yīng)區(qū),到達(dá)鼓肚子收口處形成回流渦流。

2、固體顆粒被通入的氣體懸浮在鼓肚子區(qū)域內(nèi)

3、爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式,當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后,可將爐體打開(kāi),拿出石英管,法蘭為卡套式、打開(kāi)法蘭卡套取出反應(yīng)后的顆粒。

進(jìn)氣氣體的調(diào)節(jié):
在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí),可能會(huì)因?yàn)闅怏w流量過(guò)大會(huì)使顆粒穿過(guò)加熱區(qū),所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。

爐管或多孔石英板

1、多孔石英板孔徑:10um 左右

2、尺寸:φ35mm x 5mm 厚

控制精度

+/- 1 ℃

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國(guó)西門(mén)康

設(shè)計(jì)溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃

升溫速率

≤30 ℃/ Min (可根據(jù)要求修改)

推薦升溫速率

≤15 ℃/ Min

熱電偶型號(hào)

K型

加熱段長(zhǎng)度

205mm

真空系統(tǒng)

1、單級(jí)泵 TW-1.5A 2、 雙級(jí)泵 2XZ-2 3、 VS-0.1真空系統(tǒng)

4、 VS高真空系統(tǒng) 5、 恒壓泵 6、英國(guó)PCG550(INFICON)電容真空計(jì)

1、一般粗略抽真空、把爐管里面的氣體趕出來(lái)用:TW-1.5A單級(jí)泵即可。

2、雙級(jí)泵2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。

3、VS-0.1真空系統(tǒng)能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到0.1Pa(并配帶有電阻真空計(jì)顯示)。

4、VS高真空系統(tǒng)(該系統(tǒng)是由分子和機(jī)械泵組成)能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到10-3 Pa。

5、恒壓泵(該系統(tǒng)可以把管內(nèi)壓力控制在-100.0KPa~100.0KPa)。

6、英國(guó)(INFICON)電容真空計(jì)(測(cè)量范圍3.8x10-5 -1125 Torr、可檢測(cè)各種氣體,包括混合氣體,測(cè)量精確、重復(fù)性好、可選防腐類(lèi)型PCG554)

四周表面溫度

≤45℃

保修期

一年保修,終身技術(shù)支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

注意事項(xiàng)

1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

2.向爐管內(nèi)通氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa。進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱爐管的沖擊

3.加熱過(guò)程中不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)排氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


流化床爐管為高純石英管,爐管內(nèi)部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔徑可單獨(dú)定制。.粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過(guò)多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域,進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。

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