名稱

規(guī)格

1200度開啟式三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)管式爐CVD系統(tǒng)

三溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)爐

爐管尺寸

Φ60×1400mm 更多其他規(guī)格石英管可選（Φ50/60/80/100mm等）

配備特殊設(shè)計(jì)石英樣品倉，可將樣品倉整管取出，取放樣方便

主要參數(shù)

額度溫度: 1200℃(使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)

工作溫度: 1100℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區(qū)長度: 300+300+300mm

額定功率：7KW

旋轉(zhuǎn)速度：0-13轉(zhuǎn)/min

額定電壓：單相AC 208 - 240V, 50Hz

爐體結(jié)構(gòu)

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層，額定限度節(jié)約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命

溫控系統(tǒng)

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

智能化30段可編程控制

具有超溫及斷偶報(bào)警功能

控溫精度: ±1 ℃

K型熱電偶

可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集（需另購）

溫控儀表（可選）

標(biāo)配儀表品牌為宇電，可其他品牌溫控儀表，如島電等。

管堵

多種規(guī)格管堵，防止來自內(nèi)部管子的熱輻射，管堵在加熱前必須放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實(shí)驗(yàn)環(huán)境或者較高真空需求

密封系統(tǒng)

爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。（包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭）

如需獲得較高的真空度，建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(jì)（需另外訂購）

出氣端配備磁流體密封裝置，容許設(shè)備在連續(xù)真空條件下工作。

備注：本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口，可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

出氣端預(yù)留KF25接口，方便連接真空泵，KF16接口，方便連接數(shù)顯真空計(jì)，以及Φ9氣嘴接頭，以便出氣

擴(kuò)展端口

如進(jìn)氣管道為橡膠軟管，則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機(jī)械泵：10^-1Pa

分子泵機(jī)組：10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

凈重

40Kg

三路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

MFC-3Z

電壓

220VAC 單相 50/60Hz

針閥材質(zhì)

316不銹鋼

量程

50sccm、100sccm、200sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇）

工作溫度

5～45℃

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

AC220V/50Hz單相

功率

23W

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

額定承載量

1000 Lbs

抽氣速率

10m3/h

極限真空度：10-1Pa

雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

相關(guān)應(yīng)用

爐膛內(nèi)襯可以單獨(dú)更換（額外付費(fèi)）

可以根據(jù)要求設(shè)計(jì)成帶有滑動(dòng)法蘭的爐子

應(yīng)用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃

對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）