CVD80-12II-3雙管滑動管式爐為實驗室用小型管式爐CVD，CVD80-12II-3雙管滑動管式爐由1200度雙管滑動管式爐、真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)組成。

CVD系統(tǒng)是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計，特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究，通過滑動爐實現(xiàn)快速加熱和冷卻。

產(chǎn)品用途：

此款小型CVD系統(tǒng)是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計，特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔

電極方面的研究，通過滑動爐實現(xiàn)快速加熱和冷卻。

產(chǎn)品組成：

CVD系統(tǒng)配置：

1、1200度開啟式真空管式爐（可選配單溫區(qū)及雙溫區(qū)）。

2、滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動，并配有風冷系統(tǒng)。

3、內(nèi)外雙石英管，采用真空可通氣氛雙法蘭特殊連接。

4、多路氣體流量控制系統(tǒng)（質(zhì)子流量控制器和浮子流量控制器）

5、真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）

電爐特點：

1、爐膛采用優(yōu)質(zhì)氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，高效節(jié)能。
2、加熱元件采用優(yōu)質(zhì)加熱件，經(jīng)久耐用,更換方便。
3、采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，配有風冷系統(tǒng)，使爐體表面溫度快速降溫。

4、氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用快捷法蘭,提高操作便捷性。

5、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強，耐沖擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統(tǒng)使用壽命。

6、(電動)滑動系統(tǒng)采用溫度控制器自動控制爐體移動，等程序完成，爐體按設(shè)定的速度滑動，因有滑動限位功能，爐體不會發(fā)生碰撞，待樣品露出爐體后，通過風冷系統(tǒng)快速降溫。

7、雙管真空密封法蘭，反應(yīng)氣體可以在內(nèi)外管之間發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體可通過內(nèi)管，從而使內(nèi)管外壁溫度降低。

主要技術(shù)參數(shù)：