干式真空泵（又稱干式機(jī)械泵）就是指一種可以從大氣壓開始泵送汽體，并把泵送汽體直接排放到大氣中的機(jī)械真空泵。泵腔內(nèi)沒(méi)油或其他介質(zhì)，泵的極限壓力與油封真空泵相同或接近。

干式真空泵應(yīng)用廣泛，主要有以下層面：

1）在低壓干法刻蝕多晶硅的制取環(huán)節(jié)中；

2）半導(dǎo)體蝕刻工藝。在這些生產(chǎn)中頻繁使用甚至造成腐蝕性物質(zhì)和耐磨材料顆粒物；

3）在一些產(chǎn)生除半導(dǎo)體工藝以外的顆粒的工藝中，不希望將顆粒物混合到泵油中，但是對(duì)于從泵排出的顆粒，一些類別的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

4）在化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)、食品工業(yè)、蒸餾、干燥、消泡、包裝等行業(yè)，防止有機(jī)溶液造成污染，適合應(yīng)用干式真空泵；

5）用于真空系統(tǒng)的基本全無(wú)油清潔，以防止油污染。干式螺桿式真空泵是一種抽氣設(shè)備，運(yùn)用一對(duì)螺桿在泵殼內(nèi)進(jìn)行同步快速反方向自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，以產(chǎn)生抽吸和排氣效果。這兩個(gè)螺絲經(jīng)過(guò)精細(xì)均衡，由軸承支持，并安裝在泵殼中。螺桿和螺桿之間有一定的間隙，所以當(dāng)泵運(yùn)行時(shí)，二者之間并沒(méi)有摩擦，性能穩(wěn)定，低噪。工作室不用潤(rùn)滑油。因此，干式真空泵能消除含有大量水蒸氣和少許灰塵的汽體，具有極限真空度高、功耗低、節(jié)能、經(jīng)久耐用等優(yōu)點(diǎn)。它是油封/水環(huán)/噴射真空泵的更新產(chǎn)品。