概述

　　VDP系列變螺距螺桿真空泵采用的三段式變螺距轉(zhuǎn)子型線，高效節(jié)能、運(yùn)行可靠，極限真空可達(dá)1.33Pa，可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下高效持續(xù)工作。

　　VDP系列采用變螺距干式螺桿技術(shù)，壓縮腔無需水或其他任何工作介質(zhì)，避免泵送介質(zhì)的冷凝和沉積，并且防止介質(zhì)被油水污染，可獲得潔凈真空。廣泛應(yīng)用于制藥、電子、化工、食品加工領(lǐng)域中的溶劑回收、真空干燥、真空蒸餾等工藝中。

技術(shù)特點(diǎn)

　　吸入效率提高15%

　　極限真空可達(dá)1.33Pa

　　三段式可變螺距，節(jié)能可達(dá)35%

　　高效夾套水冷降低排氣溫度50%

　　G1級轉(zhuǎn)子動平衡，低噪音、低振動、無慣性力，可高速運(yùn)穩(wěn)定行

　　結(jié)構(gòu)簡單、易保養(yǎng)、低維護(hù)費(fèi)用，壽命長

　　可選用機(jī)械密封、唇形密封，結(jié)構(gòu)簡單，密封可靠，確保零泄漏

　　耐腐性能好，介質(zhì)接觸部位可噴涂哈氏合金涂層、特氟龍涂層、鎳基碳化鎢涂層

　　強(qiáng)腐蝕工況，泵體、螺桿等接觸物料的部件材質(zhì)可采用雙相不銹鋼、316L不銹鋼等

　　運(yùn)行范圍廣，可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下持續(xù)工作

　　可與羅茨泵、分子泵等串聯(lián)使用，在高真空工況下獲得高抽速。

工作原理

　　是一種變螺距雙螺桿真空泵。一對螺桿轉(zhuǎn)子在腔體內(nèi)旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被螺桿捕獲，經(jīng)壓縮后輸送至排氣口。在壓縮過程中，螺桿轉(zhuǎn)子間不相互接觸，也不與腔體接觸。壓縮腔無需潤滑油或工作液。冷卻方式既可以采用直接水冷，也可以采用空氣冷熱交換器實(shí)現(xiàn)散熱器冷卻。由于可選技術(shù)方案和附件范圍廣泛，VDP系列螺桿真空泵可地適應(yīng)各種工藝需求。所有產(chǎn)品系列包括七種規(guī)格，額定抽速從每小時(shí) 200立方米至 3000 立方米。

結(jié)構(gòu)優(yōu)勢

　　變螺距螺桿真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無水無油污染等優(yōu)點(diǎn)，得到越來越多使用單位的青睞。變螺距螺桿真空泵能夠真正做到即保證清潔的被抽空間，又不污染周圍環(huán)境，號稱21世紀(jì)綠色真空泵。

　　既可用于半導(dǎo)體行業(yè)，又可用于石化行業(yè)?？蓮V泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)晶片、制造液晶顯示器、蝕刻、CVD制程;在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。應(yīng)用范圍極為廣泛，產(chǎn)品市場前景看好。

　　以變螺距螺桿真空泵為基礎(chǔ)的羅茨—螺桿真空機(jī)組，可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的羅茨—水環(huán)真空系統(tǒng)，在醫(yī)藥、化工、食品行業(yè)廣泛應(yīng)用，具有占用空間小、能耗低、壽命長、可靠性好、無水蒸氣影響等優(yōu)點(diǎn)，適合于各種氣體的排除和輸送。

優(yōu)點(diǎn)及特征

　　●的真空處理能力：100-3000m3/Hr。

　　●不使用油和水，不會造成油和水的污染。

　　●低功耗、低噪音、低振動，動平衡好，沒有慣性力，可高速運(yùn)行。

　　●設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，易保養(yǎng)，維修費(fèi)用低，沒有易損件，壽命長。

　　●適用范圍廣，具有高真空性能。

　　●使用壽命長，氣體接觸部位都具耐蝕耐涂層。

　　●可選用機(jī)械密封或唇形密封，密封可靠不會因污染而頻繁發(fā)生故障，軸承經(jīng)久耐用。

　　●涂層標(biāo)準(zhǔn)：耐蝕耐熱哈氏合金、特氟龍、鎳基碳化鎢

　　■標(biāo)準(zhǔn)配件:

　　基座和防護(hù)罩

　　排氣消聲器及進(jìn)氣分離器

　　過濾器

　　流量開關(guān)

　　止回閥

　　真空計(jì)

　　■可選配件:

　　回收罐

　　排氣冷凝器

　　入口真空緩沖罐

　　溫度開關(guān)

應(yīng)用范圍

　　●變螺距螺桿泵在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用，主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護(hù)工件免受污染。

　　●變螺距螺桿泵在石油化工中的應(yīng)用，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。

　　●制藥行業(yè)，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。

　　●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝

　　●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)

　　●擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝

　　●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物。

　　●涉及無油無水真空處理的所有應(yīng)用

　　●食品行業(yè)用于香料，香精濃縮等。

技術(shù)參數(shù)