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IS-PM 貴金屬膜層專用設(shè)備

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更新時(shí)間:2026-01-28 14:15:23瀏覽次數(shù):113

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IS-PM 貴金屬膜層專用設(shè)備

詳細(xì)介紹

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  • 規(guī)格參數(shù):

    IS 系列貴金屬鍍膜設(shè)備參數(shù)

    型號(hào)

    IS13-2

     

    真空室尺寸

    裝載腔: 494*475*510 (mm)

    工藝腔: 516*475*530 (mm)

    磁控濺射源

    3 個(gè)

    等離子清洗源

    1 個(gè)

    極限真空

    <5.0*10-5 Pa

    最高溫度

    <500℃(工件加溫)

    涂層區(qū)域

    Φ45*60 (工件尺寸)

     

    控制系統(tǒng)

    ·全自動(dòng)工藝控制軟件

    ·參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

    真空室結(jié)構(gòu)

    鍍膜腔+裝載腔

    設(shè)備尺寸

    2700*2280*2770 (mm)

    功率

    20KW

    備注

    設(shè)備可依據(jù)客戶需求進(jìn)行定制

  • 或

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