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IS 系列貴金屬鍍膜設(shè)備參數(shù) | |
型號(hào) | IS13-2 |
真空室尺寸 | 裝載腔: 494*475*510 (mm) 工藝腔: 516*475*530 (mm) |
磁控濺射源 | 3 個(gè) |
等離子清洗源 | 1 個(gè) |
極限真空 | <5.0*10-5 Pa |
最高溫度 | <500℃(工件加溫) |
涂層區(qū)域 | Φ45*60 (工件尺寸) |
控制系統(tǒng) | ·全自動(dòng)工藝控制軟件 ·參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng) |
真空室結(jié)構(gòu) | 鍍膜腔+裝載腔 |
設(shè)備尺寸 | 2700*2280*2770 (mm) |
功率 | 20KW |
備注 | 設(shè)備可依據(jù)客戶需求進(jìn)行定制 |
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