簡 介：

原位高溫光/電學測試裝置（HTC-PERAIR-400）是一款為器件在真空加熱條件下測試電輸運而設計的專用原位設備。該款設備主要包含了水冷系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、真空反應腔體以及光學窗口。其中真空反應腔體上配置了加熱臺、電子輸運專用接頭、真空接頭和電極接線等配置，能夠保證在加熱過程中，連接器件進行電子輸運。反應腔體溫度可調，調節(jié)范圍為室溫到400℃，控溫精度±1℃。反應腔體上部配備了光學窗口，可對器件進行直接觀察，或進行顯微觀察等，為器件在真空高溫條件下的電子輸運研究提供了便利。

主要特點

1. 該裝置能夠實現(xiàn)器件或其他材料在真空條件下的加熱功能，其中樣品尺寸大小可為10*10*1或10*10*2mm的方形片；

2. 加熱腔體的溫度調節(jié)范圍為：室溫-400℃，溫度控制精度：±1℃，通過配備的溫控儀來實現(xiàn)上述控溫操作；

3. 主體加熱腔室的透射窗口尺寸為φ30mm，在裝置頂部位置；

4. 主體加熱腔室能夠配備了真空接頭，能夠實現(xiàn)裝置的真空處理（機械泵的真空處理），并保證整個氣體腔室密封性良好，不漏氣（不可承壓）；

5. 主體腔室外殼層設有水冷裝置，并配備水冷循環(huán)機保證整體外表面的溫度低于60℃；

6. 主體加熱腔體還配備了四套電子輸運專用接頭，具備電子屏蔽功能，能夠實現(xiàn)器件電子輸運測試過程中的電子輸運功能；

7. 本設備由水冷系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、真空反應腔體以及光學窗口等多個主體部分組成。