簡介：

     滑軌式管式爐一體化結構設計，用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移

動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效

果。適合用于廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

• 工作溫度RT-1000℃；
• 日本進口智能程序控溫儀控制精準，可編輯、儲存并調(diào)用多段程序；
• 爐殼結構，雙層爐殼風冷結構；
• 不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣閥采用美標針閥；  
• 兩端可調(diào)式法蘭支撐結構，延長石英管使用壽命；                    
• LED高強度、抗破壞、全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用；
• 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電；
• 安全保護當爐體漏電時自動斷電。

技術參數(shù)：