簡(jiǎn)介：

     滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過(guò)移

動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的。同時(shí)也可以預(yù)先設(shè)定溫度，然后移動(dòng)到樣品處，達(dá)到快速升溫的效

果。適合用于廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

• 工作溫度RT-1000℃；
• 日本進(jìn)口智能程序控溫儀控制精準(zhǔn)，可編輯、儲(chǔ)存并調(diào)用多段程序；
• 爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)；
• 不銹鋼雙層密封法蘭，進(jìn)、出氣閥采用美標(biāo)針閥；  
• 兩端可調(diào)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長(zhǎng)石英管使用壽命；                    
• LED高強(qiáng)度、抗破壞、全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用；
• 超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值自動(dòng)斷電；
• 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。

技術(shù)參數(shù)：