詳細(xì)介紹
簡介:
Cubic-200分子束外延生長系統(tǒng)由一體成形的不銹鋼腔體組成,無焊接部分,確保了的泄露可能性;6個(gè)CF100和8個(gè)CF40的超高真空標(biāo)準(zhǔn)法蘭口,滿足分子束外延生長各項(xiàng)部件的安裝需求。配有300L/s抽速分子泵及無油前級(jí)機(jī)械泵,全量程規(guī)(或離子規(guī)),INFICON膜厚測量儀,4軸變溫樣品臺(tái),最多可裝配7個(gè)蒸發(fā)源,滿足多種薄膜材料的生長需求。
基本配置:
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