技術(shù)參數(shù)

Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2、Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、P△q

測量原理

電感式

測量范圍

400μm

針尖半徑

5μm

針尖材料

金剛石

觸針測力

4mN

觸針角度

90°

導頭縱向半徑

45mm

*大驅(qū)動行程

19mm

量程

±25μm、±200μm

分辨力

0.001μm、0.008μm

濾波方式

GAUSS、2RC、ISO13565

取樣長度

0.25mm、0.8mm、2.5mm、自動

評定長度

1L～5L(可選，L為取樣長度)

示值誤差

±10%

示值重復性

≤6%

工作環(huán)境溫度

0oC～40oC

外型尺寸及重量

主機：155.4mm×75mm×53mm，約580g、驅(qū)動器：120.5mm×25.5mm×28.5mm，約165g

電源

內(nèi)置電池：鋰離子充電電池;

電源適配器：輸入：100V240VAC，50/60Hz;

輸出：9V，3A。