Keysight M9614A 是一款 PXIe 5 通道源表模塊（SMU）。 它能夠在高達(dá) 30 V / 500 mA 的范圍內(nèi)執(zhí)行準(zhǔn)確測(cè)量，分辨率達(dá)到 6 μV / 100 pA。

• 高密度單插槽模塊，每個(gè)模塊提供 5 個(gè)通道
• 輸出范圍十分廣闊，每通道高達(dá) 30 V / 500 mA
• 分辨率達(dá)到 6 μV / 100 pA
• 能夠準(zhǔn)確靈活地進(jìn)行從直流到脈沖的測(cè)量，在 500 kSa/s 采樣率下脈沖寬度*小達(dá)到 100 μs
• 無(wú)縫電流量程
• 與 PX0107A 低噪聲濾波器配合使用，可實(shí)現(xiàn) 25 μVrms 的低電壓電源噪聲性能
  

Keysight M9614A 是一款 PXIe 5 通道源表模塊（SMU）。 它可執(zhí)行高達(dá) 30 V / 500 mA 的準(zhǔn)確測(cè)量，分辨率達(dá)到 6 μV / 100 pA。 PXIe SMU 與臺(tái)式 SMU 相比通道密度更高，而 M9614A 進(jìn)一步提高了通道密度。 它們還以比傳統(tǒng) PXIe 4 通道 SMU 更低的每通道成本提供更寬的輸出范圍。 *的脈沖和采樣功能使 M9614A 能夠以 500 kSa/s 的采樣率執(zhí)行從直流到脈沖的各種測(cè)量，脈沖寬度*小達(dá)到 100 μs。 它們的無(wú)縫電流量程功能可以節(jié)省更改量程所需的時(shí)間，并將動(dòng)態(tài)范圍擴(kuò)展到四個(gè)量程，從而大大縮短了測(cè)試的持續(xù)時(shí)間。 綜上，M9614A 非常適合用于需要高通道密度的應(yīng)用，例如半導(dǎo)體可靠性測(cè)試和集成電路（IC）測(cè)試。