臭氧具有僅次于氟的強氧化性，有能力將煙氣惡劣環(huán)境中的NO氧化成高價態(tài)，提高煙氣中氮氧化物的水溶性，從而通過濕法洗脫。其中主要包括以下反應(yīng)：

NO+O₃→NO₂+O₂ (1)
NO₂+O₃→NO₃+O₂ (2)
NO₃+NO₂→N₂O₅ (3)
N₂O₅+ H₂O→2HNO₃ (4)

以臭氧替代其它氧化試劑，通過特殊工藝控制脫硝反應(yīng)過程，使堿液吸收反應(yīng)的產(chǎn)物以固體形式存在，實現(xiàn)了氣態(tài)污染物（氮氧化物）的固化處理，不產(chǎn)生二次污染。