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OTF-1200X-5S 小型大口徑開啟式管式爐

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更新時(shí)間:2026-07-15 08:21:43瀏覽次數(shù):152

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐,其工作溫度可以達(dá)到1000℃

詳細(xì)介紹

 OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐,其工作溫度可以達(dá)到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。

技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu)

● 雙層殼體結(jié)構(gòu)

● 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,保證溫度均勻性

● 此款管式爐也可做為立式爐使用(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

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功率 3KW
電壓 220VAC 50/60Hz
工作溫度 1000℃(<1小時(shí))>
連續(xù)工作溫度 900℃
加熱速率 20℃/min
加熱區(qū)

● 加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm

● 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:

● 100 mm (+/-1oC )

● 140 mm (+/-2oC )

溫控系統(tǒng)

● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序

● 帶有超溫和斷偶保護(hù)

● 可選購MTS02-B控溫模塊,可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序

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歐陸儀表(可選)

可選購歐陸3504溫控儀表,可與LABVIEW軟件比配

1
控溫精度 +/- 1°C
爐管

● 石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL

● 配有2個(gè)氧化鋁管堵,使用設(shè)備時(shí)應(yīng)放在爐管兩端,保證恒溫區(qū)和法蘭密封性

● 可選購石英管堵,提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空

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真空密封法蘭

● 配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封

● 右端法蘭為KF25接口,用于連接真空泵

● 左端法蘭上安裝有機(jī)械壓力表,接口為1/4英寸卡套接頭,用于連接氣瓶

● 真空度:10-2torr (采用機(jī)械泵)

● 可選:5英寸的水冷鉸鏈法蘭,并帶有支撐架

● 水冷法蘭通入冷卻水后,設(shè)備溫度可以達(dá)到1100℃(<1小時(shí))>

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真空壓力表

● 安裝有一機(jī)械壓力表,測(cè)量范圍為-0.1~0.15MPa

● 可選購數(shù)顯防腐真空計(jì)當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換,測(cè)量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr

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鎧裝熱電偶(可選)

● 可選購鎧裝K型熱電偶,通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部,測(cè)量樣品的實(shí)際溫度

● 可選購一個(gè)法蘭支撐架,防止?fàn)t管轉(zhuǎn)動(dòng)

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凈重 48 Kg
質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件)
質(zhì)量認(rèn)證

● 認(rèn)證

● 所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證

● 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

    
應(yīng)用注意事項(xiàng)

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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