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1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-HVC

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更新時間:2026-07-14 09:00:13瀏覽次數(shù):158

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產(chǎn)品簡介

設備名稱 ?1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X--HVC(2019

詳細介紹

設備名稱

? 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X--HVC (2019.12.9—科晶實驗室審核)

產(chǎn)品提示

科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>    圖片未及時更新提示    多種配件可選提示    危險設備操作提示

主要特點

? 高熔點物質能夠在低溫下合成

? 可生長單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種物質

? 不僅可以在基片上進行生長,還可以在粉體表面生長

基本參數(shù)

一、加熱爐:

  ? 溫度:1100℃(1200℃<1h)

  ? 總加熱度: 440mm   

  ? 升溫速率:≤10℃/min 

  ? 恒溫精度:±1℃   

  ? 熱偶:K型熱偶 

  ? 電源:AC208-240 50/60Hz

  ? 功率:2.5KW



二、供氣系統(tǒng):

產(chǎn)品

二通道

三通道

四通道

五通道

 工作溫度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

壓力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重復精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量范圍

一路:1~199 SCCM

二路:1~199 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

注意

其他流量范圍的可定制(0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM),需額外費用

五-九路可按照客戶要求定制


三、103G高真空機組:


   產(chǎn)品

國產(chǎn)分子泵

愛德華分子泵

抽氣速率

·N2   33 L/s

·He   39 L/s

·H2   32 L/s

·N2     42 L/s

·He     49 L/s

·H2     45 L/s

系統(tǒng)極限

真空度

<>4 Pa

(配和本公司管式爐使用可達到1E-2Pa)

<>6 Pa

(配和本公司管式爐使用可達到1E-4Pa)

分子泵組成

RVP-4機械泵和F-100/110分子泵

隔膜泵和斡旋分子泵

使用電壓

和功率

電壓:200~240V

輸出功率:150W

電壓:185-265V

輸出功率:100W

移動殼體

尺寸:

600(L)x600(W)x750(H)mm

600(L)x600(W)x750(H)mm



更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

加熱元件和溫控系統(tǒng)

? 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)

? 包含一款YD518P型溫度控制器

? PID自動控溫系統(tǒng)

? 智能化30段可編程控制

? 默認DB9 PC通信連接端口

? 通過MET認證

? 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)。

 OTF-1200X--HVC 1.jpg OTF-1200X--HVC 2.jpg OTF-1200X--HVC 3.jpg

爐體結構和爐管尺寸

? 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng)

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)

? 高純石英管

? 尺寸:外徑: 50 ×長: 1000 mm   外徑: 60 ×長: 1000 mm  

 外徑: 80 ×長: 1000 mm   外徑: 100 ×長: 1000 mm

尺寸

? 加熱爐外形尺寸:1000 L x 300 W x 550 H mm


? 供氣系統(tǒng)外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm


? 高真空機組外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

重量

? 加熱爐約40Kg

? 供氣系統(tǒng)約36Kg

? 真空機組約60Kg

認證

? 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

 OTF-1200X--HVC 4.jpg

質保

? 一年質保期,終生維護

? 特別提示:

   1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

   2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

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