4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)—OTF-1200X-50-4CLV-PE

        操作視頻

長*寬*高 2080mm*700mm*1520mm

外徑: 100mm 

內(nèi)徑: 96mm×長: 1800 mm

·溫度: 1200℃

·額定工作溫度: 1100℃

·推薦升溫速率:≤10℃/min

·加熱區(qū)長度: L總：440mm（雙溫區(qū)包括隔環(huán)）

              溫區(qū)一：200mm

              溫區(qū)二：200mm

·加熱爐額定功率：3KW

·滑動方式：電動控制

·滑動行程：600mm

·電壓：單相AC 208 - 240V, 50HZ

 歐陸EPC3000儀表

·模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

·智能化24段可編程控制

·帶過電流過電壓保護(hù) 漏電保護(hù)

電氣元件及電纜，冷壓端子均符合UL認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)

·控溫精度: ±0.1℃

·控溫：K型熱電偶兩根

·通訊協(xié)議：modbus RTU

· 可視化運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

· 溫控系統(tǒng)，氣路系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，射頻系統(tǒng)，滑動爐體，開合爐體，壓力控制，全自動化，

· 數(shù)據(jù)記錄、過程記錄集成一體

· 預(yù)制工作流程，一鍵自動運(yùn)行

· 具有恒壓功能，可以設(shè)定氣體流量和恒定壓力

壓力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的雙旋真空泵，在總進(jìn)氣量為100-150sccm，管內(nèi)壓力為 100-130pa，如總進(jìn)氣量高于150sccm時，請更換抽速更高的泵，測試為總進(jìn)氣量為1L/min（滿足四路質(zhì)量流量計全開狀態(tài)時），使用VRD-60泵（抽速18L/s），真空為120-130pa（滿足起輝條件）,可在任意供氣量下設(shè)定任意氣壓值（該氣壓值需大于搭配泵體的真空值），氣壓值可自動穩(wěn)定

可方便快速取放物料

·500W射頻電源

·0--500W可調(diào)（穩(wěn)定性±1%）

·射頻頻率：13.56MHZ

·自動匹配 風(fēng)冷

·噪音＜50dB

·輸入電壓：AC108-250V

·四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）

·流量范圍：一路0-100 sccm 

            二路0-200 sccm 

            三路0-200 sccm 

            四路0-500 sccm 

注：接入供氣系統(tǒng)的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下

·搭配TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）（總進(jìn)氣量小于150sccm，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度）

·搭配TRP-60雙旋真空泵（抽速10L/s）（總進(jìn)氣量1L/min，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度）

·KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵

·真空度可達(dá)10^-2Torr

注：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設(shè)備需要特殊改造及測試，（有法蘭過熱情況）