西特Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計(jì)（亦稱電容式膜片真空計(jì) (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場(chǎng)中測(cè)量對(duì)過(guò)程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達(dá)±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全I(xiàn)nconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過(guò)程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測(cè)量設(shè)計(jì)，它能精確測(cè)量介質(zhì)，不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。

 

      采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬的特點(diǎn)，使之成為關(guān)鍵制造過(guò)程中的理想選擇。

 

      所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此對(duì)半導(dǎo)體和工業(yè)真空過(guò)程中的腐蝕性介質(zhì)具有的耐受性。

Inconel®材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)， 確保730型在這類應(yīng)用中的長(zhǎng)使用壽命。

 

      內(nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測(cè)量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計(jì)不同，730型測(cè)量直接壓力， 不受被測(cè)混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測(cè)量型壓力計(jì)。

 

      ·半導(dǎo)體處理室

      ·石化

      ·等離子體滅菌器

      ·真空包裝