詳細(xì)介紹
西特Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設(shè)計(jì),能夠滿足如今300 mm 工具的要求。
西特Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設(shè)計(jì),能夠滿足如今300 mm 工具的要求。該型號(hào)占用空間僅11/8″,能節(jié)省寶貴的空間;結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,是要求長(zhǎng)期穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測(cè)量的理想選擇。與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同,Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計(jì)。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不銹鋼制造,且表面鈍化拋光至5 Ra(7 Ra),確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕,實(shí)現(xiàn)無(wú)污染氣體輸送。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·抗電磁干擾/ 射頻干擾,可防止誤停機(jī)
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證,適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域
·符合CE 標(biāo)準(zhǔn)要求
·符合RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過(guò)程工具
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