西特Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設(shè)計(jì)，能夠滿足如今300 mm 工具的要求。該型號(hào)占用空間僅11/8″，能節(jié)省寶貴的空間；結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，是要求長(zhǎng)期穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測(cè)量的理想選擇。與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同，Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計(jì)。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至5 Ra（7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實(shí)現(xiàn)無(wú)污染氣體輸送。

 

      ■ 泄露率低

      ■ VCR 接頭

      ■ 易于吹掃的小腔室

      ■ 200PSI/250PSI/3000PSI

 

      ·316 L VIM/VAR 不銹鋼

      ·表面拋光度7 Ra

      ·VCR 接頭

      ·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)

      ·抗電磁干擾/ 射頻干擾，可防止誤停機(jī)

      ·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域

      ·符合CE 標(biāo)準(zhǔn)要求

      ·符合RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求

 

      ·11/8″“Block”氣體棒和面板

      ·高純度氣體輸送系統(tǒng)

      ·半導(dǎo)體過(guò)程工具