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更新時(shí)間：2023-09-12 12:12:06瀏覽次數(shù)：200

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ModelM2030VM2030A流量范圍(N2)5sccm~30000sccm5sccm~30000sccm相應(yīng)時(shí)間2sec2sec精準(zhǔn)度1%FS1%FS重復(fù)精度0

詳細(xì)介紹

 

Model
M2030V
M2030A
  流量范圍(N2)   5sccm ~ 30000sccm   5sccm ~ 30000sccm
相應(yīng)時(shí)間   ≤2 sec   ≤2 sec
精準(zhǔn)度   ≤±1% FS   ≤±1% FS
重復(fù)精度   ≤±0.25% FS   ≤±0.25% FS
 輸入/輸出信號(hào)   0~5 Vdc   0~5 Vdc OR 4~20 mA
供電電源   ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA   ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
  耐壓   ≤90 bar   ≤90 bar
  工作環(huán)境溫度   0~50 °C   0~50 °C
漏率   1*10E-9 atm cc/sec   1*10E-9 atm cc/sec
 使用范圍   2 ~ 99% 2 ~ 99%
或

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