詳細介紹
| Model | M3300V | M3300A |
| 流量范圍(N2) | 100slpm ~ 300slpm | 100slpm ~ 300slpm |
| 響應(yīng)時間 | <2>2> | <2>2> |
| 精準度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
| 重復(fù)精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
| 輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
| 供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
| 耐壓 | <15>15> | <15>15> |
| 工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
| 漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
| 使用范圍 | 2 ~ 99% | 2~ 99% |
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