低加速電壓下高分辨

　　3 KV加速電壓下分辨率7 nm，5 KV加速電壓時背散射電子分辨率可達(dá)10 nm

　　SU3500 采用全新電子光學(xué)系統(tǒng)，圖像質(zhì)量進(jìn)一步提升。全新設(shè)計的低球差物鏡和偏壓系統(tǒng)保證低加速電壓下的高發(fā)射束流，所以

　　二次電子分辨率在 3 KV 是可達(dá) 7 nm，背散射電子的分辨率在 5 KV 時可達(dá) 10 nm

　　減輕荷

　　減輕荷電掃描模式為：快速多次對一行進(jìn)行掃描取得信號后再掃描下一行，因此，電子束在同一位置的停留時間得以縮短，比通常的慢掃模式對減輕荷電及電子束損傷更有效。