測量范圍

測量工件直徑

0-740/100-840mm

0-740/100-840mm

0-740/100-840mm

測量直徑

0-390/160-490mm

0-390/160-490mm

0-390/160-490mm

測量高度

350

550mm

900mm

承載

60kg(100kg可選)

60kg(100kg可選)

60kg(100kg可選)

旋轉(zhuǎn)軸(C軸空氣軸承)

旋轉(zhuǎn)臺直徑

330mm

330mm

330mm

零件調(diào)心調(diào)平方式

自動

自動

自動

圓度綜合誤差µm+µm/mm測量高度

0.02+0.0005

0.02+0.0005

0.02+0.0005

圓度誤差高精度選項

0.01+0.00025µm

0.01+0.00025

0.01+0.00025

主軸跳動綜合誤差µm+µm/mm測量半徑

0.03+0.0005

0.03+0.0005

0.03+0.0005

主軸跳動誤差高精度選項

0.015+0.00025

0.015+0.00025

0.015+0.00025

調(diào)心范圍

±5mm

±5mm

±5mm

調(diào)平范圍

±1 ?

±1 ?

±1 ?

測量速度

0.2-30 rpm

0.2-30 rpm

0.2-30 rpm

立柱（Z軸）

測量范圍

350mm

550mm

900mm

直線度誤差/100mm

0.15µm

0.15µm

0.25µm

直線誤差/測量范圍

0.3µm

0.45µm

1.5µm

C-R軸垂直度

0.5µm

0.8µm

2.5µm

測量和定位速度

0.2-50mm/s

0.2-50mm/s

0.2-50mm/s

水平軸（R軸）

測量范圍

220mm

220mm

220mm

直線度誤差/100mm

0.25µm

0.25µm

0.25µm

直線誤差/測量行程

0.5µm

0.5µm

0.5µm

C-R軸垂直度

0.8µm

0.8µm

0.8µm

測量和定位速度

0.2-50mm/s

0.2-50mm/s

0.2-50mm/s