HiPace 10 - 800 

抽速等級在10-800 L/s 的 緊湊型

球軸承或復合軸承渦輪分子泵

產品優(yōu)勢 

1. 抽速從10-800升/秒的全系列產品

2. 穩(wěn)健性工業(yè)設計（Robust Design）和經過實踐證明的高可靠性軸承系統(tǒng)

3. 經湊型結構以滿足更小的物理空間安裝需求

4. 高氣流量和高抽速

5. 可任意角度安裝

6. 防護等級IP54符合工業(yè)環(huán)境應用要求

7. 可以用于腐蝕性氣體工況

8. SEMI S2和UL認證

9. 可現場更換軸承

HiPace 1200-2300

抽速等級在1000 - 2000 L/S 的緊湊型

復合軸承渦輪分子泵

產品優(yōu)勢：

1. 四種抽速，抽速為自1000 至 2300 l/s

2. 對于分子量較小氣體以及分子量較大氣體的高抽速

3. 適用各種工藝如刻蝕, 濺鍍, 耐粉塵

4. 高氣流量，即使對于分子量較大的氣體

5. 集成的TC 1200驅動單元，可直接連接一般電源

6. 耐腐蝕

7. 帶節(jié)氣閥門的集成密封氣體系統(tǒng)

8. 標準接口界面：RS-485 以及遠程控制；Profibus或者DeviceNet 可供選擇

9. 符合 IP54 防護標準，適用于工業(yè)應用環(huán)境

10. 符合 Semi S2 規(guī)范

11. 符合 UL, CSA 以及 TüV 認證

HiPace 300 - 800M,ATH 500 M 

抽速等級在300 - 800 L/S 的緊湊型

磁懸浮渦輪分子泵

產品優(yōu)勢：

1. 安裝簡便

2. 任意角度安裝

3. 集成控制器

4. 無潤滑油的磁軸承技術

5. 對所有過程氣體都能實現高氣流量

6. 地震動及低磁場干擾

7. 動平衡自動補償

8. 轉速范圍大

9. 出色的穩(wěn)定性和可靠性

ATM 1600 - 3200 M, ATP 2300 M

抽速等級在1400 - 2800 L/S 的緊湊型

磁懸浮渦輪分子泵

產品優(yōu)勢：

1. 無潤滑油的磁軸承技術

2. 對所有過程氣體都能實現高氣流量

3. 出色的穩(wěn)定性和可靠性

4. 更好的前級泵兼容性

5. 氣體進入穩(wěn)定性高

6. 免維護低成本保養(yǎng)費

7. 轉速可選范圍大，適合定制化工藝需求

8. 極低的噪音和震動

9. 任意角度安裝

10. 磁軸承技術現實轉子實時監(jiān)控