詳細介紹
CYG512型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學研究中,風洞中超薄形模型上下表面壓力場分布設(shè)計的,是CYG511的改進型。尤其適用于縮模徑向尺寸較大,厚度很小,不能或不容易挖坑貼埋,只能貼于表面的工況設(shè)計的。1mm左右的厚度使其對流場的影響減小到很小的程度。
CYG512使用了CYG511同樣的的硅硅直接鍵合的壓力敏芯片,具有很優(yōu)良的靜態(tài)力學特性。由于精密設(shè)計與加工的封裝結(jié)構(gòu)在將總厚度縮小到1mm左右的同時,也就大大減小了敏感元件與傳感器進壓殼體封裝空間的容積,將淺型管腔對動態(tài)頻響的影響減至最小,因此它具有優(yōu)良的動態(tài)特性。
CYG512標準壓力量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000ka。
CYG512的有兩種外形尺寸,一種為薄扣形,ф8 mm直徑,總厚度為1.2 mm;一種為薄條片形,6×10×1mm引出線均為4mm寬,0.15mm厚,1m長柔性引線。薄扣形為不銹鋼結(jié)構(gòu),上表面超薄不銹鋼薄膜上有激光鉆刻的均布式和螺旋線形進氣篩孔。薄條式無頂蓋,僅在貼裝敏感元件處復(fù)蓋很薄的有機硅保護膜,用戶可接自己的實用工況需求進行選擇。
1、性能指標參數(shù):
| 指標/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復(fù)性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時漂 <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出: 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、輸入輸出阻抗:最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、輸入工作電流:1.5 mA(表壓型) 1mA(絕壓型)(恒流源)
5、工作溫度范圍:-55℃~+120℃
6、補償溫度范圍:-10℃~+80℃
7、過載能力: 額定量程的200%
8、加速度靈敏度:<0.001%FS/g
9、外形尺寸圖:

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