標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實(shí)驗(yàn)中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計(jì)的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸最小的壓力傳感器。

CYG502的壓力敏感元件采用的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計(jì)、從而實(shí)現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的化，把整個(gè)芯片尺寸縮小到1×1mm大小，而輸出靈敏度仍可達(dá)到100kpa的量程，為超微型傳感器的實(shí)現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。

把傳統(tǒng)設(shè)計(jì)中的硅–玻璃鍵合改為硅–硅鍵合，改善了熱匹配效果，減少了應(yīng)力帶來(lái)的零位不穩(wěn)定性。

目前已面市品種有絕壓型測(cè)量模式產(chǎn)品，表壓型正在研制中。

CYG502A絕壓型超微型壓力傳感器為探針形，標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф2.15mm，長(zhǎng)度為18mm，傳感器的可選量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。

CYG502A絕壓傳感器用敏感元件正面承壓。因此，它僅適用于介質(zhì)為無(wú)腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有著相當(dāng)寬的工作溫區(qū)，可達(dá)-55℃～+120℃，也有著非常優(yōu)秀的高頻動(dòng)態(tài)特性，其量程的敏感元件的固有頻率＞200kHz，上升時(shí)間為亞微秒。

1、性能指標(biāo)參數(shù)

2、滿量程輸出：  最小值30mv   典型值80mv   值130mv

3、輸入輸出阻抗：最小值3 kΩ  典型值5 kΩ  值7 kΩ

4、輸入工作電流：1.5mA（表壓型）1mA（絕壓型）（恒流源）

5、工作溫度范圍：-55℃～+120℃

6、補(bǔ)償溫度范圍：-10℃～+80℃

7、過(guò)載能力：    額定量程的200%

8、加速度靈敏度：＜0.001%FS/g

9、外形尺寸圖：  CYG502A