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電子顯微鏡種類

　　利用透射電子顯微鏡（Transmission Electron MicroscopyTEM）可以直接獲得一個樣本的投影。在這種顯微鏡中電子穿過樣本，因此樣本必須非常薄。組成樣本的原子的原子量、加速電子的電壓和所希望獲得的分辨率決定樣本的厚度。樣本的厚度可以從數(shù)納米到數(shù)微米不等。原子量越高、電壓越低，樣本就必須越薄。
　　通過改變物鏡的透鏡系統(tǒng)人們可以直接放大物鏡的焦點的像。由此人們可以獲得電子衍射像。使用這個像可以分析樣本的晶體結(jié)構(gòu)。
　　在能量過濾透過式電子顯微鏡（Energy Filtered Transmission ElectronMicroscopy，EFTEM）中人們測量電子通過樣本時的速度改變。由此可以推測出樣本的化學組成，比如化學元素在樣本內(nèi)的分布。
　　掃描電子顯微鏡（Scanning electronmicroscope，SEM）中的電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方，然后一行一行地掃描樣本。入射的電子導(dǎo)致樣本表面散發(fā)出電子，顯微鏡觀察的是這些每個點散射出來的電子。由于這樣的顯微鏡中電子不必透射樣本，因此其電子加速的電壓不必非常高。場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一種比較簡單的電子顯微鏡，它觀察樣本上因強電場導(dǎo)致的場發(fā)射所散發(fā)出來的電子。
　　假如觀察的是透過樣本的掃描電子的話，那么這種顯微鏡被稱為掃描透射電子顯微鏡（Scanning TransmissionElectron Microscopy，STEM）。