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技術(shù)文章

電子顯微鏡

發(fā)布時(shí)間:2025-12-9
電子顯微鏡

 電子顯微鏡(electron microscope),簡稱電鏡,是使用電子來展示物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡。
  高速的電子的波長比可見光的波長短(波粒二象性),而顯微鏡的分辨率受其使用的波長的限制,因此電子顯微鏡的分辨率(約0.1納米)遠(yuǎn)高于光學(xué)顯微鏡的分辨率(約200納米)。

 電子顯微鏡的主要組成部分是:
  電子源是一個(gè)釋放自由電子的陰極,一個(gè)環(huán)狀的陽極加速電子。陰極和陽極之間的電壓差必須非常高,一般在數(shù)千伏到3百萬伏之間。
  電子透鏡用來聚焦電子。一般使用的是磁透鏡,有時(shí)也有使用靜電透鏡的。電子透鏡的作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡的作用是一樣的。光學(xué)透鏡的焦點(diǎn)是固定的,而電子透鏡的焦點(diǎn)可以被調(diào)節(jié),因此電子顯微鏡不象光學(xué)顯微鏡那樣有可以移動(dòng)的透鏡系統(tǒng)。
  真空裝置。真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài),這樣電子在其路徑上不會(huì)被吸收或偏向。
  樣品架。樣品可以穩(wěn)定地放在樣本架上。此外往往還有可以用來改變樣品(如移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、加熱、降溫、拉長等)的裝置。
  探測(cè)器,用來收集電子的信號(hào)或次級(jí)信號(hào)。

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