上海彥祥電子 SRF200-MET紅外顯微系統(tǒng)

公司自主研發(fā)的紅外透視顯微技術(shù)，廣泛交付于半導(dǎo)體(Semiconductor)領(lǐng)域公司、平板顯示(FPD)公司、科研單位、 高校及第三方實(shí)驗(yàn)室、企業(yè)，解決了該技術(shù)多年來被國外壟斷的難題，為國內(nèi)外客戶創(chuàng)造了更高的效益。 該技術(shù)方案得益于超精密光學(xué)設(shè)計(jì)、納米級(jí)加工的集成式光學(xué)系統(tǒng)，創(chuàng)造性地兼容于常規(guī)金相顯微鏡(2寸-12寸)、常規(guī)體視顯微鏡(平行光及格林諾夫型)、常規(guī)工具顯微鏡、超景深顯微鏡、大型龍門工業(yè)顯微鏡(120寸)。技術(shù)方案可采用結(jié)構(gòu)光、近紅外 波段、中遠(yuǎn)紅外波段、太赫茲波段穿透芯片、顯示面板表層封裝的非金屬化合物，對客戶產(chǎn)品進(jìn)行無損檢查。其微米/納米級(jí)物體內(nèi)部無損檢測技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國際水平，并在VECSEL器件、薄膜型黏品材料。

上海彥祥于2021年推出工業(yè)SRF63-MET顯微鏡系列，適用于各領(lǐng)域工業(yè)檢測及材料研究，能夠提供真實(shí)、可靠的顯微觀測結(jié)果，呈現(xiàn)出色的光學(xué)性能以及高品質(zhì)圖像。其中，4/6/8/12寸紅外透視顯微系統(tǒng)，集成多項(xiàng)科技，性能于國外競品，致力于拓展工業(yè)領(lǐng)域新格局。該技術(shù)方案能對代第二代、第三代、第四代半導(dǎo)體芯片內(nèi)部進(jìn)行無損觀察，是的檢測技術(shù)。

上海彥祥自主研發(fā)的目前主推SRF200-MET紅外顯微系統(tǒng)已交付上百套產(chǎn)品，服務(wù)于半導(dǎo)體、光通訊平板顯示等上下游產(chǎn)業(yè)鏈，助力中國“芯"制造。