產(chǎn)品特點(diǎn)：
3200片（125*125、156*156）/小時超大產(chǎn)能。
采用第四代全自動配液、補(bǔ)液技術(shù)，全面的防酸、防腐措施，保護(hù)到機(jī)器的每一個角落。
全自動補(bǔ)液技術(shù)。
獨(dú)特的硅片干燥處理技術(shù)，保證guip干燥不留任何水痕。
成熟的硅片干燥工藝，多種技術(shù)于一身。
彩色大屏幕人機(jī)界面操作，方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式轉(zhuǎn)換。
高速移載機(jī)械手采用松下伺服程序控制，具有高速、防壓、自動歸正，四點(diǎn)穩(wěn)定抓取，帶鉤抱藍(lán)等特點(diǎn)。