產(chǎn)品特點(diǎn)：
3200片（125*125、156*156）/小時(shí)超大產(chǎn)能。
采用第四代，全面的防酸、防腐措施，保護(hù)到機(jī)器的每一個(gè)角落。
獨(dú)特的硅片干燥技術(shù)，保證硅片干燥不留任何水痕。
成熟的硅片干燥工藝，多種技術(shù)集于一身。
彩色大屏幕人機(jī)操作界面，方便參數(shù)設(shè)置及多種工藝方式轉(zhuǎn)換。
高速移載機(jī)械手采用松下伺服程序控制，具有高速、防壓、自動(dòng)歸正，四點(diǎn)穩(wěn)定抓取，帶鉤抱藍(lán)等特點(diǎn)。