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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹：
| 產(chǎn)品詳細(xì)介紹 | |
| 檢測對象氣體：半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、、硅烷、氫氣等）。 | |
| 產(chǎn)品功能描述 | |
| 檢測氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、、硅烷、氫氣等） |
| 檢測原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 |
| 采樣方式 | 自動吸引式 |
| 可檢測濃度 | |
| 胂 | 0.2 |
| 膦 | 0.3 |
| 硼乙烷 | 0.1 |
| 硅烷 | 0.5 |
| 氫氣 | 1.0 |
| 檢測表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
| 應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |
| 產(chǎn)品持有證書 | |
| CE | |
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