特點(diǎn)

• 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%

• 1 秒內(nèi)穩(wěn)定

• 滿量程流速高達(dá) 300 slpm

• 全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理

• 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體

• 可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺(tái)設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度

• 通過有源溫度補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范

• 內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口

• 帶有 VCR 配件的細(xì)線體設(shè)計(jì)

• DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口

優(yōu)勢

• 1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過程變量影響

• 未采用會(huì)發(fā)生氧滲透并且使用一定時(shí)間之后需要進(jìn)行更換的彈性體密封件

• MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準(zhǔn) MFC

• 60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作

• 測量精度不受溫度變化影響

• 可輕松訪問診斷端口以實(shí)現(xiàn)運(yùn)行時(shí)間

• 規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi)；設(shè)備改型的選擇

• 多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作

應(yīng)用

• 對翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進(jìn)行經(jīng)濟(jì)高效的改型/升級

• 減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫存

• 用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD

• 太陽能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)

• 分析用 OEM 設(shè)備