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惰性氣體凈化機(jī)

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更新時(shí)間:2026-06-14 07:33:16瀏覽次數(shù):195

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產(chǎn)品簡介

惰性氣體純化器的原理是利用合金吸附劑能與氧氣、氮?dú)?、水、二氧化碳和烴類等雜質(zhì)反應(yīng)生成穩(wěn)定化合物或固溶體的性質(zhì)來把氬氣、氦氣、氖氣、氙氣等惰性氣體中的上述雜質(zhì)除去,從而達(dá)到純化之目的,凈化后得到的高純氣體可廣泛用于半導(dǎo)體、電子、冶金、鋰電池制造及直讀光譜分析和輝光光譜分析等產(chǎn)業(yè)部門和科學(xué)研究中

詳細(xì)介紹

惰性氣體純化器的原理是利用合金吸附劑能與氧氣、氮?dú)狻⑺?、二氧化碳和烴類等雜質(zhì)反應(yīng)生成穩(wěn)定化合物或固溶體的性質(zhì)來把氬氣、氦氣、氖氣、氙氣等惰性氣體中的上述雜質(zhì)除去,從而達(dá)到純化之目的,凈化后得到的高純氣體可廣泛用于半導(dǎo)體、電子、冶金、鋰電池制造及直讀光譜分析和輝光光譜分析等產(chǎn)業(yè)部門和科學(xué)研究中。

產(chǎn)品特點(diǎn)

⑴凈化程度深,不僅能除去O2等較活潑的雜質(zhì),而且還可以除去N2等惰性雜質(zhì),這是一般凈化機(jī)辦不到的;

⑵本純化器為雙塔結(jié)構(gòu),一組工作,另一組備用,故一臺(tái)能頂兩臺(tái)單式純化器使用;

⑶工作溫度較低,能耗少。

本系列凈化機(jī)配置有預(yù)凈化模塊,在合金吸附塔之前已經(jīng)除去了較活波的雜質(zhì),故極大的延長了合金吸附塔的使用壽命。

FX系列惰性氣體純化器技術(shù)參數(shù)表

設(shè)備名稱

設(shè)備型號

工作方式

再生方式

備 注

惰性氣體純化器

FX□-C

半自動(dòng)

半自動(dòng)

□選填Ar、He、

FX□-Z

自動(dòng)

自動(dòng)

□選填Ar、He

原氣要求

純 度

≥99.99%一般瓶裝惰性氣體

雜質(zhì)要求

O2≤200PPm, H2O≤1000PPm,N2≤100PPm

輸出純氣

純 度

≥99.9998%

雜質(zhì)含量

O2≤0.5PPm;N2≤1.0PPm;H2O≤1PPm(即露點(diǎn)≤-76℃);

CO+CO2≤0.1PPm;塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個(gè)/升

工作壓力

0~1.0MPa

處理氣量

1~6Nm3/h

備 注

可根據(jù)用戶要求

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