實驗室真空變溫電學(xué)測試平臺，外部可移動探針臂精準(zhǔn)點針，為真空變溫實驗提供解決方案，同時可集成顯微鏡、光譜系統(tǒng)進(jìn)行材料表征

溫度范圍 -190℃～400℃，RT~1000℃ 溫度穩(wěn)定性 ±0.05℃ 樣品區(qū) ∮26mm 探針數(shù)量 4~7個 電學(xué)接頭 BNC 三同軸BNC 可選 臺面電位 電接地 三同軸 背電極 可選 探針臂行程 粗調(diào) 20mm*20mm,微調(diào) 10mm*10mm*3mm,精度＜10um 適配儀器 顯微鏡 光譜儀 鐵電 介電 電化學(xué)工作站 磁場 電學(xué)源表 半導(dǎo)體分析儀 DLTS