產品介紹：

名 稱：高精密勻膠機

型 號：SC200-SE

原產地：

應 用：　SC200-SE精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

產品概述：

　　SC200-SE精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別400瓦伺服電機系統(tǒng)，采用于track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中的達到50000rpm/s的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩(wěn)定性和的可重復性。

性能參數(shù)：

l 主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

l 旋涂程序：最多存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

l 轉動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

l 旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

l 馬達旋涂轉速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

l 轉速調節(jié)精度<1rpm，重復性< 1rpm

l 工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec

l 支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）

l 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產品特點：

l 的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。

l 7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。

l 標準配置轉速5000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。

l 采用工業(yè)級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

l 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。

l 透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產品外型尺寸：613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)

咨詢或索取詳細產品資料，請聯(lián)系ANALYSIS（安賽斯）工作人員。

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