主動防振臺Herz AVI-200M是一款緊湊型模塊化的主動防振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界的主動防振性能（從0.5 Hz開始）。AVI系列 | 主動防振臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì)，無需為大多數(shù)儀器（包括大多數(shù)SEM）安裝所需的升降設(shè)備，從而簡化了安裝過程. AVI-200M |適......

產(chǎn)品描述：

主動防振臺-減振臺-隔震臺AVI-200M是六個(gè)空間方向自由隔振(1Hz – 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)，通過增加選件可以將低頻擴(kuò)展至0.5hZ,單模塊承重200kg,配置多個(gè)模塊時(shí)承重為200*Nkg,為客戶精密測試加工提供良好的振動環(huán)境，廣泛引用于原子力顯微鏡，超景深顯微鏡，電子顯微鏡，微納加工等等。

主動防振臺-減振臺-隔震臺-AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動防振臺，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界的主動隔振性能（從0.5 Hz開始）。AVI系列平臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì)，無需為大多數(shù)儀器（包括大多數(shù)SEM）安裝所需的升降設(shè)備，從而簡化了安裝過程。

主動防振臺Avi-200M適用于各類大型電子顯微鏡AEM,SEM,ATM,TEM,,輪廓儀,電子天平,超快激光系統(tǒng)時(shí)頻系統(tǒng),大型半導(dǎo)體設(shè)備,激光設(shè)備！

工作原理：

安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設(shè)備造成不利影響，的解決方案則是使用主動防振臺（減振臺），以便營造該設(shè)備的條件。

主動式防振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài)。主動防振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。

AVI系列主動防振臺采用的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。AVI系列主動防振臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振?？蔀閷?shí)驗(yàn)室中對震動敏感的設(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

主動防振臺AVI-200M產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 六個(gè)空間方向自由防振(0.5Hz – 200Hz主動防振, >200Hz被動防振)
• 5-20ms響應(yīng)時(shí)間
• 低頻防振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單
• 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
• 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)
• 穩(wěn)定性高，能連續(xù)使用多年
• 無低頻共振、無空氣要求

主動防振臺AVI-200M應(yīng)用范圍：

• STM
• AFM
• 干涉儀
• 摩擦學(xué)
• 輪廓儀
• 高精度計(jì)量

主動防振臺AVI-200M技術(shù)參數(shù)：

• 型號：AVI-200M/LP
• 系統(tǒng)配置：獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置
• 主動隔振范圍：大致為1.0 Hz – 200 Hz
• 被動隔振范圍:大致為200 Hz以上
• 顯示屏信號:多路復(fù)用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。
• LEDs 指示輸出階段的過載情況。
• 單元尺寸(每個(gè)):130 x 636 x 112.5 Hmm,
• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
• 隔振單元重量: 10kg
• 負(fù)載能力:400 kg (同等/低重心)
• 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
• 功耗：通常9W
• 校正力：水平4N，垂直8N
• 系統(tǒng)噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 靜態(tài)柔度：垂直約3.5µm/N，水平約7µm/N
• 溫度范圍：5℃ – 40℃
• 相對濕度：10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
• 室內(nèi)/室外使用：僅用于室內(nèi)

升級選項(xiàng)：

AVI-200M 主動防振臺可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

主動防振臺AVI-200M隔振效果：

AVI-200M 性能對比圖：AFM 的研究人員在兩種條件下進(jìn)行成像： 不含主動式防振臺和包含AVI系列主動防振臺。當(dāng)使用AVI系列主動減振臺搭載AFM時(shí)，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。

如果客戶需要的測試環(huán)境，我們的主動防振臺AVI-200M還不能滿足要求時(shí),我們也強(qiáng)烈建議客戶了解Herzan 隔音箱AEK-2002 如圖：

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