AVI-600 WORKSTATION是一款緊湊型主動(dòng)隔振系統(tǒng)，對(duì)升級(jí)和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來(lái)說(shuō)是理想的選擇。AVI-600 WORKSTATION這款設(shè)備允許在一定的大小范圍內(nèi)增設(shè)額外的模塊以用于支持更大的儀器載重量(9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作臺(tái)也是支持納米技術(shù)的解決方案。

主動(dòng)隔振臺(tái)-主動(dòng)式隔振臺(tái)-AVI600WORKSTATION

主動(dòng)隔振臺(tái)-主動(dòng)式隔振臺(tái)-AVI600WORKSTATION 是一款緊湊型有源隔振臺(tái)，對(duì)升級(jí)和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來(lái)說(shuō)是理想的選擇。AVI-600 WORKSTATION隔振臺(tái)允許在一定的大小范圍內(nèi)增設(shè)額外的模塊以用于支持更大的儀器載重量(9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作臺(tái)也是支持納米技術(shù)的解決方案。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 主動(dòng)隔振頻率：1Hz – 200Hz
• 被動(dòng)防振頻率>200Hz
• 5-20 毫秒的響應(yīng)時(shí)間
• 安裝簡(jiǎn)單，容易使用
• 能連續(xù)使用多年
• 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)

產(chǎn)品應(yīng)用：

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• UHV-SPM
• 隧道顯微鏡
• 大型的對(duì)震動(dòng)敏感的儀器

主動(dòng)隔振臺(tái)-主動(dòng)式隔振臺(tái)-AVI600WORKSTATION產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

• 系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入震動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除
• 六個(gè)角度自由隔振
• 內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振
• 提供優(yōu)秀的低頻段隔振能力
• 無(wú)低頻共振并沒(méi)有空氣要求

技術(shù)參數(shù)：

隔振范圍：主動(dòng):1-200Hz ; 被動(dòng): >200Hz

傳輸率：超過(guò) 10Hz 的傳輸< -35 dB

模塊尺寸：W 11.3" x D 28.4" x H 4.5" (AVI-600)

模塊重量： 60 KG / 132 Lbs

靜態(tài)柔度(每個(gè)模塊)

垂直方向：約 12 μm / N

水平方向：約 6 μm / N

系統(tǒng)噪聲：少于 50nG/√Hz

耗電量：27 W(典型配置)

輸入電壓：90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8"

性能監(jiān)控：通過(guò)在示波器上顯示的一個(gè)復(fù)用信號(hào)來(lái)表示是否帶有隔振效果的震動(dòng)等級(jí)

主動(dòng)隔振臺(tái)-主動(dòng)式隔振臺(tái)-AVI600WORKSTATION 可選型號(hào)：

型號(hào)	臺(tái)面尺寸 (mm)	載重能力(雙個(gè)模塊)
AVI-600 workstation	600Χ600— 900Χ1200	900 Kg / 1980 Lbs
AVI-600 Extra workstation	600Χ600— 900Χ1200	1020Kg / 2,244 Lbs
AVI-600 plus workstation	600Χ600— 900Χ1200	1140 Kg / 2,508 Lbs
AVI-600 Ultra workstation	600Χ600— 900Χ1200	1260 Kg / 2,772 Lbs
AVI-600s workstation	600Χ600— 900Χ1200	900 Kg / 1980 Lbs