在21世紀(jì)的納米技術(shù) (如代表信息相關(guān)技術(shù)的半導(dǎo)體，聲明科學(xué)相關(guān)技術(shù)，如基因治療，原子或分子處理，如MEMS和新材料生成等工程技術(shù))，振動(dòng)，噪音，電磁場(chǎng)，熱量，濕度，干擾等等將是測(cè)量環(huán)境的制約因素。在納米技術(shù)中，為取得可靠的結(jié)果，難以使用氣浮臺(tái)隔振的低頻范圍，需要主動(dòng)隔振。桌面式主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-桌面式主動(dòng)防振臺(tái)-Herz TS Series將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)，將有助于促進(jìn)當(dāng)......

簡(jiǎn)述：

在21世紀(jì)的納米技術(shù) (如代表信息相關(guān)技術(shù)的半導(dǎo)體，聲明科學(xué)相關(guān)技術(shù)，如基因治療，原子或分子處理，如MEMS和新材料生成等工程技術(shù))，振動(dòng)，噪音，電磁場(chǎng)，熱量，濕度，干擾等等將是測(cè)量環(huán)境的制約因素。在納米技術(shù)中，為取得可靠的結(jié)果，難以使用氣浮臺(tái)隔振的低頻范圍，需要主動(dòng)隔振。

桌面式主動(dòng)防振臺(tái)-Herz TS Series主動(dòng)隔振系統(tǒng)將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)，將有助于促進(jìn)當(dāng)前技術(shù)和測(cè)量，創(chuàng)新和發(fā)展未知技術(shù)。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 寬范圍內(nèi)可在所有六個(gè)自由度上提供出色的主動(dòng)隔振性能。

工作原理：

桌面式主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-桌面式主動(dòng)防振臺(tái)-Herz TS Series采用的隔振技術(shù)，可以隔離6個(gè)空間方向的振動(dòng)（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主動(dòng)隔振臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動(dòng)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號(hào)來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。

性能對(duì)比（TS-150/LP）：

– 振動(dòng)加速度對(duì)比

右側(cè)數(shù)據(jù)顯示TS-150/LP的隔振性能，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

藍(lán)線: 地面振動(dòng)加速度

紅線: TS-150/LP表面安裝板加速度

– 振動(dòng)傳遞率

右側(cè)數(shù)據(jù)顯示地面到TS-150/LP表面安裝板的振動(dòng)傳遞率，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

垂直軸: 傳遞率，單位：dB

(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)

該數(shù)據(jù)表明主動(dòng)隔振系統(tǒng)在1 Hz -100 Hz 低頻范圍內(nèi)具有優(yōu)異的隔振性能。

桌面式主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)-桌面式主動(dòng)防振臺(tái)-Herz TS Series技術(shù)參數(shù)：

結(jié)合隔音箱，創(chuàng)造測(cè)量環(huán)境：

對(duì)于原子或分子研究，如掃描電子顯微鏡， TS系列主動(dòng)隔振系統(tǒng)至關(guān)重要。此外，不僅要考慮振動(dòng)，還應(yīng)考慮聲學(xué)抑制。我們所生產(chǎn)的AEk 隔音箱適用于超高分辨率應(yīng)用，如SPM。將 AEk和TS系列整合可提供的測(cè)量環(huán)境。

搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系統(tǒng)采用多層可變密度隔聲材料層，可有效隔離寬頻帶噪聲。

TS 應(yīng)用示例：