高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）

電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途。

等離子灰化機(jī)PDC200/210/510用途
● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝

等離子灰化機(jī)PDC200/210/510特征
● DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）
● RIE模式
● 均勻性高的電極構(gòu)造
● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器

等離子灰化機(jī)PDC200/210/510內(nèi)槽

構(gòu)成圖

DP模式
PDC510標(biāo)配）
PDC200/210選配）

RIE模式

等離子灰化機(jī)PDC200/210/510規(guī)格