MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

MFC800系列氣體質(zhì)量流量控制器，為工業(yè)和科學研究領(lǐng)域長期可靠工作而設計。利用熱擴散原理及PID控制原理，測量和控制小管道的氣體質(zhì)量流量輸出，不需要溫度和壓力補償。以性能可靠、安裝方便和價格合理得以大量應用。

產(chǎn)品特點

☆用于多種氣體質(zhì)量流量控制，如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等

☆測量范圍：從0-5sccm 至 0-1500slm

☆精度：1.0%F.S.

☆量程比：最小100:1

☆重復性：0.25%

☆響應時間：1.0S

☆過程溫度：0-50℃

☆過程壓力：0-8MPa

☆供電：24VDC

☆輸出：0-5V,4-20mA,RS232

☆管道材質(zhì)：316L

☆連接標準：1/4英寸，3/8英寸，1/2英寸，3/4英寸

產(chǎn)品應用

l  實驗室，泄漏檢測

l  醫(yī)學，氣體合成

l  科學研究，過程控制

l  制藥，半導體工業(yè)