產(chǎn)品介紹INTRODUCTION

ParkNX-Hivac允許故障分析工程師通過高真空SSRM提高測量的靈敏度和分辨率。高真空掃描能提供比大氣或干燥的N2條件下更高的精度、更好的可重復(fù)性，還能減少針尖和樣品的損傷，用戶從而可以在失效分析應(yīng)用中測量更廣闊范圍的涂料濃度和信號(hào)響應(yīng)。

在高真空條件下進(jìn)行SSRM（ScanningSpreading-ResistanceMicroscopy-掃描擴(kuò)展電阻顯微鏡）測量能夠減少所需的針尖-樣品相互作用力，這可顯著減少對(duì)樣品和針尖的損傷，并能延長每個(gè)針尖的壽命，使掃描更方便，并能通過提高空間分辨率和信噪比從而提供更準(zhǔn)確的結(jié)果。高吞吐量、低成本、高精度使得NX-Hivac成為為故障分析工程師提供的高真空SSRM測量的選擇。

特點(diǎn)FEATURES

NX-Hivac可將用戶所需的輸入操作最簡化，用戶可以更快地掃描從而提高實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)成果。

包含機(jī)動(dòng)平臺(tái)的StepScan自動(dòng)化StepScan為用戶提供了對(duì)設(shè)備進(jìn)行編程的能力，以快速且簡單地對(duì)多個(gè)區(qū)域進(jìn)行成像。

NX-Hivac只需用戶嘗試五個(gè)操作步驟掃描樣本：掃描、提升懸臂、將機(jī)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)到用戶定義的坐標(biāo)、進(jìn)針和重復(fù)。這極大地提高了測量效率，并將所需的用戶輸入操作減少到限度。

機(jī)動(dòng)激光校準(zhǔn)

帕克的機(jī)動(dòng)式激光束校準(zhǔn)模塊允許用戶在無需輸入任何操作的情況下自由地進(jìn)行自動(dòng)測量程序。利用我們*的預(yù)對(duì)準(zhǔn)懸臂架，激光束在探針交換時(shí)聚焦在懸臂上。然后通過電動(dòng)定位旋鈕沿X軸和Y軸優(yōu)化激光光斑位置。

易操作的原子力顯微鏡軟件

無論您的AFM需求集中在學(xué)術(shù)研究，還是工業(yè)計(jì)量或故障分析，NX-Hivac的智能掃描自動(dòng)模式都提供了一個(gè)流水線系統(tǒng)，以生成高質(zhì)量的AFM數(shù)據(jù)。SmartScan還可幫助初次使用的學(xué)者在短時(shí)間內(nèi)獲得高質(zhì)量數(shù)據(jù)。

NX-H ivac真空環(huán)境下自動(dòng)控制

高真空度由Hivac Manger控制，通過單擊按鈕進(jìn)行邏輯和視覺控制，為優(yōu)化真空條件和排氣過程提供泵送。

每個(gè)過程都通過顏色和示意圖變化進(jìn)行可視化監(jiān)控，用戶無需擔(dān)心單擊按鈕后真空操作的順序。既迅速又便捷的真空控制軟件為用戶帶來易于使用的原子力顯微鏡操作和更好的測量效率。

NX-H ivac是精確的高性能原子力顯微鏡，它也是最容易使用和方便用于失效分析的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac可幫助用戶提高測量效率并且信任您的測量結(jié)果。

閉環(huán)XY和Z軸掃描儀

為樣品和探針針尖而采用的兩個(gè)獨(dú)立的閉環(huán)XY和Z撓曲掃描儀，可保證用戶的掃描非常精確。

NX-Hivac提供平面和正交的XY掃描，低殘余彎曲，在整個(gè)掃描范圍內(nèi)提供小于1nm的平面外運(yùn)動(dòng)。

NX-H ivac還具有15μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，Z軸掃描儀的非線性度小于0.5%。這提供了精確的2D和3D測量，而再也不需要軟件處理。

低噪聲XYZ位置傳感器

NX-Hivac的特色是Park AFM的行業(yè)的低噪聲Z探測器，它能夠精確地測量樣品形貌，而低噪聲XY閉環(huán)掃描將前后掃描間隙最小化到小于掃描范圍的0.15%。

24位數(shù)字電子

使用NX-Hivac中的NX系列標(biāo)志的電子控制器，可使浪費(fèi)的時(shí)間最小化，精度。我們的控制器是一個(gè)全數(shù)字，24位高速設(shè)備，它的真正非接觸模式使用戶能夠執(zhí)行廣泛的掃描范圍。該控制器具有低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元，可滿足精密電壓和電流測量以及納米級(jí)成像。嵌入式電子器件還具有數(shù)字信號(hào)處理的特點(diǎn)，允許用戶容易地分析測量和成像。