利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。UV+O²→O-+O*(活性氧)O+O²→O³(臭氧)，臭氧對有機(jī)物具有強(qiáng)的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有強(qiáng)的清除效果。利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細(xì)菌的分子鍵，破壞細(xì)菌的核酸（DNA），再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)，達(dá)到脫臭及殺滅細(xì)菌的目的。

可以裂解惡臭氣體有：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鍵，使呈游離狀態(tài)的污染物分子與臭氧氧化結(jié)合成小分子無害或低害的化合物，如CO2、H2O等。

當(dāng)廢氣進(jìn)入吸附箱后，進(jìn)入活性炭吸附層，由于活性炭吸附層表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力或化學(xué)鍵力，因此當(dāng)活性炭吸附層表面于氣體接觸時(shí)，就能吸引氣體分子，使其農(nóng)匯聚并保持在活性炭表面，此現(xiàn)象就是吸附。利用活性炭吸附層表面的吸附能力，使廢氣與多孔性活性炭吸附層相接觸，廢氣的污染物被吸附在活性炭表面上，使其于氣體混合物分離，凈化后氣體高空排放。