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Gamma Vacuum鈦升華泵

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更新時間:2023-01-23 10:13:44瀏覽次數(shù):513

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產(chǎn)品簡介

從便攜式質(zhì)譜分析儀到大型粒子加速器,捕獲泵送技術(shù)可為多種應用創(chuàng)建高真空(HV)和超高真空(UHV)環(huán)境

詳細介紹

  • 從便攜式質(zhì)譜分析儀到大型粒子加速器,捕獲泵送技術(shù)可為多種應用創(chuàng)建高真空 (HV)和超高真空 (UHV) 環(huán)境。
    它們能以經(jīng)濟的成本創(chuàng)建盡可能低的真空。 

    Edwards 通過 Gamma Vacuum 提供一系列離子泵、鈦升華泵、非蒸散型吸氣劑泵和附件。

    離子泵
    離子泵也稱為濺射離子泵或離子吸氣劑泵,屬于俘獲型泵,這種泵使用陽極/陰極陣列將氣體離子化。 離子會
    濺射活性陰極材料,導致化學反應,將離子化氣體轉(zhuǎn)變?yōu)楣腆w化合物。 這些化合物不會再在真空系統(tǒng)中形成
    壓力,而是被捕獲在離子泵內(nèi)。離子泵的工作壓力范圍為 10-5 至 10-12 mbar,可處理 0.2 至 1,200 l/s 的氮氣。

    鈦升華泵
    TSP 的工作原理是加熱鈦絲并將鈦分子升華(從固相到氣相的轉(zhuǎn)化)到某個表面上。升華的鈦分子隨后可用
    于與活性氣體(如氧氣和氮氣)發(fā)生化學反應,并分離和擴散出氫。  TSP 的工作壓力范圍為 10-5 至 10-12
     mbar, 氫氣抽取速度超過10,000 l/s。 

    非蒸散型吸氣劑泵
    NEG 是被壓到固態(tài)基板上或燒結(jié)成盤狀的活性金屬。 已發(fā)現(xiàn)鋯、釩和鐵的特定組合適合 HV 和UHV環(huán)境。
    使用的材料量控制NEG泵的速度和容量,但范圍一般為50至3,500 l/s 的氫。當 NEG 與氣體飽和時,它
    們可以再活化而不向大氣中排放廢氣。

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