詳細(xì)介紹
GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
技術(shù)參數(shù)
| 名稱 | 帶3路浮子混氣三溫區(qū)1700℃管式爐--GSL-1700X-III-F3LV |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度小于35℃。 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,較大程度減少能量損失。 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。 三個(gè)溫區(qū)分別被三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制。 |
| 功率 | 10KW(需要75A的空氣開關(guān)) |
| 電壓 | AC 380V 50Hz |
| 加熱區(qū) | 總加熱區(qū)長度:25"(630mm)。 加熱溫區(qū)1長度:7.5"(190mm)1400℃通過4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃。 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會(huì)有偏差,側(cè)參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系。 升溫速率:10℃/min。 加熱溫區(qū)2長度:10"(250mm)1700℃通6根硅鉬棒加熱,溫度可達(dá)1700℃。 升溫和降溫速度:5℃/min。 加熱溫區(qū)3長度:7.5"(190mm)1400℃通過4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃。 升溫速率:10℃/min。 |
| 爐管和法蘭尺寸 | 99.8%高純剛玉管 purity A1umina tube。 (標(biāo)配)(60mm)O.D×I.D(50mm)×1200mm L。 一對(duì)60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表。 儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵。 |
| 溫控系統(tǒng) | 3個(gè)溫控系統(tǒng),都是PID 30段程序化控溫。 控溫儀表操作視頻。 |
| 控溫精確度 | ±1℃ |
| 低真空系統(tǒng) | 采用TRP-12的雙旋機(jī)械泵,起針對(duì)于本公司的管式爐,真空度可達(dá)到10-2 torr。 一個(gè)KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上,其尺寸為25mm Dia×1000mm length,可于管式爐上的法蘭相連接。 |
| 防腐型真空計(jì) | 其測量范圍為3.8×10-5至1125 torr,不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。 |
| 三路浮子混氣系統(tǒng) | 3個(gè)浮子流量計(jì)(精確度4%FS)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三中不同氣體。 路氣體流量范圍為10-100 cc/min 。 第二路氣流流量范圍為16-160 cc/min。 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min。 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)架上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接。 移動(dòng)架上安裝有4個(gè)不銹鋼針閥。 |
| 尺寸 | 高溫爐:863 L×457 W×711 H mm(34 L×18 W×28 H inch) |
| 質(zhì)保期&質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期(不包括爐管加熱元件和密封圈) CE certified |
| 免責(zé)聲明 | 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息,請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,公司會(huì)不定期*和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您見諒。 |
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