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帶3路浮子混氣三溫區(qū)1700℃管式爐--GSL-1700X-III-F3LV

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  • 型號(hào) GSL-1700X-III-F3LV
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 重慶市

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更新時(shí)間:2024-06-09 07:24:01瀏覽次數(shù):193

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產(chǎn)品簡介

GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。


技術(shù)參數(shù)


名稱

帶3路浮子混氣三溫區(qū)1700℃管式爐--GSL-1700X-III-F3LV

爐體結(jié)構(gòu)


采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度小于35℃。

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,較大程度減少能量損失。

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。

三個(gè)溫區(qū)分別被三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制。

功率

10KW(需要75A的空氣開關(guān))

電壓

AC 380V 50Hz

加熱區(qū)

總加熱區(qū)長度:25"(630mm)。

加熱溫區(qū)1長度:7.5"(190mm)1400℃通過4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃。

注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會(huì)有偏差,側(cè)參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系。

升溫速率:10℃/min。

加熱溫區(qū)2長度:10"(250mm)1700℃通6根硅鉬棒加熱,溫度可達(dá)1700℃。

升溫和降溫速度:5℃/min。

加熱溫區(qū)3長度:7.5"(190mm)1400℃通過4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃。

升溫速率:10℃/min。

爐管和法蘭尺寸

99.8%高純剛玉管 purity A1umina tube。

(標(biāo)配)(60mm)O.D×I.D(50mm)×1200mm L。

一對(duì)60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表。

儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵。


溫控系統(tǒng)

3個(gè)溫控系統(tǒng),都是PID 30段程序化控溫。

控溫儀表操作視頻。

控溫精確度

±1℃

低真空系統(tǒng)


采用TRP-12的雙旋機(jī)械泵,起針對(duì)于本公司的管式爐,真空度可達(dá)到10-2 torr。

一個(gè)KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上,其尺寸為25mm Dia×1000mm length,可于管式爐上的法蘭相連接。

防腐型真空計(jì)


其測量范圍為3.8×10-5至1125 torr,不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

三路浮子混氣系統(tǒng)


3個(gè)浮子流量計(jì)(精確度4%FS)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三中不同氣體。

路氣體流量范圍為10-100 cc/min 。

第二路氣流流量范圍為16-160 cc/min。

第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min。

一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)架上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接。

移動(dòng)架上安裝有4個(gè)不銹鋼針閥。

尺寸

高溫爐:863 L×457 W×711 H mm(34 L×18 W×28 H inch)

質(zhì)保期&質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期(不包括爐管加熱元件和密封圈)

CE certified

免責(zé)聲明

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