名稱

1200℃立式/水平式十溫區(qū)管式爐（可用于梯度材料燒結(jié)及高通量CVD實(shí)驗(yàn)）-OTF-1200X-10-VT

爐體結(jié)構(gòu)

爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，保證殼體表面溫度小于60℃

用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層（可提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命）

加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，可延長(zhǎng)使用壽命）

開(kāi)啟式的爐體設(shè)計(jì)，使更換爐管更加方便

可手動(dòng)變更爐體模式為立式爐，用于樣品的吊燒和淬火

電壓&功率

電壓：AC 220V，50/60Hz。

功率：12KW

工作溫度

工作溫度1200℃，連續(xù)工作溫度1200℃

加熱速率

10℃/min

石英管&管堵所放位置

爐管尺寸：OD:100mm×ID:95mm×L:2000mm。

儀器中配有氧化鋁管堵，使用時(shí)必須放在石英管兩端。

密封法蘭

設(shè)備中配有一條快捷開(kāi)啟式密封法蘭（爐體兩端帶有支架，用于支撐法蘭）

左端法蘭上安裝不銹鋼截止閥（用于通入氣體）和機(jī)械真空泵。

右端法蘭上安裝不銹鋼截止閥以及預(yù)留的KF25接頭（用于連接真空泵）

真空度

10E-3torr（采用機(jī)械泵）

10E-5torr（采用分子泵）

加熱區(qū)

10個(gè)溫區(qū)，每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為120mm。

總溫區(qū)長(zhǎng)度：1570mm（含絕熱層）。

注意：可通過(guò)在溫區(qū)之間添加絕熱環(huán)來(lái)調(diào)節(jié)溫度梯度。

溫控系統(tǒng)

控制柜與爐體分開(kāi)，采用觸摸屏來(lái)操作來(lái)控制十個(gè)溫區(qū)，每個(gè)溫區(qū)有獨(dú)立的控制通道。

每個(gè)控制通道可設(shè)置30段升降溫程序。

設(shè)有超溫和斷偶保護(hù)。

控溫精度為：+/- 1 oC。

熱電偶：采用K型鎧裝熱電偶。

控制面板上安裝有RS485接口，可連接電腦將數(shù)據(jù)導(dǎo)出。

可選

客戶可選購(gòu)多通道質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)，用于和管式爐配合做CVD實(shí)驗(yàn)。

可選購(gòu)壓力控制系統(tǒng)，來(lái)確保爐管內(nèi)氣壓恒定。

產(chǎn)品尺寸

1980mm×1300mm×2500mm

產(chǎn)品重量

200kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不含爐管、密封圈和加熱元件盒密封圈損耗件）

質(zhì)量認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CSA認(rèn)證。

使用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不高于0.02MPa。

由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時(shí)會(huì)更加精確安全。

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。

石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃。

對(duì)于樣品加熱是實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需要時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

免責(zé)聲明

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